多様な微細加工技術を用いた
機能性ナノ・マイクロ表面作製
先端半導体微細加工技術や自己組織的な現象を利用することで、ナノメートルからマイクロメートルオーダーの微細構造を作成することが可能になっています。我々の研究室では、新しい物理現象・化学現象を引き起こす特殊な表面構造を作製することで、光や電子、化学現象の制御を試みています。
バイオミメティック機能表面・材料の開発
生物は、自らの生存競争を有利にできるように表面等に様々なナノ・マイクロ構造を持つことが知られています。我々の研究室では、生物からの学び（バイオミメティクス）をもとに、その表面機能解明と開発、人間社会に役立つデバイス・材料開発に結び付けるための研究を行っています。
ナノ表面作製に関するプロセス開発
ナノ・マイクロ構造を作製する手法は多岐にわたります。我々の研究室ではデバイス最表面に影響する薄膜作製技術やリソグラフィーに注目し、作製プロセス（装置構成・開発から材料選定まで）やそのプロセス解析手法の研究を行い、現在の半導体製造工程へのフィードバックについて研究を行っています。
CO₂還元を実現する新しい光機能性デバイスの開発
金属のナノ構造は光と強く相互作用することが知られています。特殊な金属微細構造を作製することにより光を完全に吸収するデバイス、吸収した光を化学反応に利用するための構造により、グリーンイノベーションにつながるCO₂還元デバイスの作製を試みています。また、時間分解光電子顕微鏡という世界的にも数少ない特殊な表面分析システムを用いることで、光吸収から化学反応につながるメカニズム解明の研究を行っています。
半導体デバイスにおける熱解析と新たな放熱構造の開発
最先端の半導体デバイスは低消費電力化と高密度化が進行し、内部で発生する放熱への対応が必要とされています。特に、熱を伝える部分で生じる大きなロスを減らすこと等が求められています。我々の研究室では、熱伝導の分析と新規材料やそれらと既存材料の表面で生じる熱抵抗を低減させるための研究を行っています。
共同研究
我々はナノ領域の表面・界面を作製するために様々な微細加工技術を有し、その技術を通じて多くの共同研究を行っています。
